Звичайний вигляд Перегляд у МАРК Перегляд у ISBD

Квасніков, В. П.

Метод корекції вихідного сигналу скануючого зондового мікроскопу для дослідження нанооб’ектів [Текст] / В. П. Квасніков, М. О. Катаєва - Центральноукраїнський науковий вісник. Технічні науки. Вип. 5(36). Ч. 2. - 2022. - С. 121–129.

В статті розглянуто методи підвищення точності вихідного сигналу скануючого зондового
мікроскопу (СЗМ) із урахуванням впливу дестабілізуючих факторів. Запропоновано метод диференціації
поєднаних сигналів, який передбачає перетворення піків багатокомпонентного сигналу з метою
зниження рівня шуму і мінімізації інших джерел похибок від дестабілізуючих факторів. На основі
запропонованого методу було розроблено алгоритм розділення поєднаних сигналів та запропоновано
метод розрахунку роздільної здатності сигналу СЗМ. Перевагою розробленого методу є можливість його
автоматизації та ефективна реалізація для будь-яких вимірювальних приладів з мікрозондом.
Запропоновано спосіб корекції похибок, який є придатним для цифрової автоматизованої обробки
сигналів та сприяє підвищенню точності та прецизійності вимірювань за допомогою СЗМ.

Subjects--Index Terms: нанотехнології нановимірювання метрологія методи та засоби вимірювання