В статті розглянуто методи підвищення точності вихідного сигналу скануючого зондового
мікроскопу (СЗМ) із урахуванням впливу дестабілізуючих факторів. Запропоновано метод диференціації
поєднаних сигналів, який передбачає перетворення піків багатокомпонентного сигналу з метою
зниження рівня шуму і мінімізації інших джерел похибок від дестабілізуючих факторів. На основі
запропонованого методу було розроблено алгоритм розділення поєднаних сигналів та запропоновано
метод розрахунку роздільної здатності сигналу СЗМ. Перевагою розробленого методу є можливість його
автоматизації та ефективна реалізація для будь-яких вимірювальних приладів з мікрозондом.
Запропоновано спосіб корекції похибок, який є придатним для цифрової автоматизованої обробки
сигналів та сприяє підвищенню точності та прецизійності вимірювань за допомогою СЗМ.